單價(jià)超26億：ASML新一代EUV光刻機(jī)上路
芯研所5月21日消息，最新消息稱，荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機(jī)，價(jià)值高達(dá)4億美元（約合26億元人民幣），雙層巴士大、重超200噸。原型機(jī)預(yù)計(jì)2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。
芯研所采編
這款機(jī)器應(yīng)該指的就是High-NA EXE:5200（0.55NA），Intel是全球第一個(gè)下單的公司。所謂High-NA也就是高數(shù)值孔徑，2nm之后的節(jié)點(diǎn)都得依賴它實(shí)現(xiàn)。
在ASML公布的今年一季度財(cái)報(bào)中，EXE:5200已經(jīng)訂出去不止一臺(tái)。按計(jì)劃，第一臺(tái)原型試做機(jī)2023年開放，預(yù)計(jì)由imec（比利時(shí)微電子研究中心）裝機(jī)，2025年后量產(chǎn)，第一臺(tái)預(yù)計(jì)交付Intel。實(shí)際上，ASML的EUV光刻機(jī)非常龐大，現(xiàn)售的0.33NA EUV光刻機(jī)擁有超10萬零件，需要40個(gè)海運(yùn)集裝箱或者4架噴氣貨機(jī)才能一次性運(yùn)輸完成，單價(jià)1.4億美元左右。
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